POCO 特殊涂层的坩埚, 使淀积效率提高400%......
POCO电子束蒸发坩埚特点:
1.超细颗粒
2.各向同性
3.高密度
4.均一的质地结构
5.高强度的多晶材质
6.孔隙内置
7.超高纯度 〈5PPM
POCO超高纯度坩埚,解决了您在工艺过程中污染物的带入问题。与传统裸露炉的方式相比,石墨坩埚在金属蒸汽与水冷铜炉之间起到了高效能屏蔽的作用,使E-BEAM用户实现了提高蒸发效率的目的,即在同样能量下提高了淀积效率400%,在一些应用中只有采用更高能量才能达到经济的淀积速率,但高能量产生的高辐射会加速晶原设备损坏的概率;而相同的淀积效率,石墨坩埚却只需原来能量的1/4。
POCO 电子束蒸发坩埚的高强度及极高的致密度结构使其在使用过程中有超长的使用寿命,为您提供了最经济的选择。主要应用于:Varian,Telemark,Temescal,Davis&Wilder,Balzers等蒸发设备.